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Bruker白光幹涉儀的六個維護保養要點

瀏覽次數:27發布日期:2020-12-24
  Bruker白光幹涉儀比較適合檢測的樣品按領域分為消費電子類、半導體封裝、超精密加工(機械、光學)、微納材料這四個大的領域。
  Bruker白光幹涉儀基本原理:
  光源發出的光經過擴束準直後經分光棱鏡後分成兩束,一束經被測表麵反射回來,另外一束光經參考鏡反射,兩束反射光終匯聚並發生幹涉,顯微鏡將被測表麵的形貌特征轉化為幹涉條紋信號,通過測量幹涉條紋的變化來測量表麵三維形貌。
  Bruker白光幹涉儀是利用光學幹涉原理研製開發的超精密表麵輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表麵和參考鏡表麵。從兩個表麵反射的兩束光再次通過分光鏡後合成一束光,並由成像係統在CCD相機感光麵形成兩個疊加的像。由於兩束光相互幹涉,在CCD相機感光麵會觀察到明暗相間的幹涉條紋。幹涉條紋的亮度取決於兩束光的光程差,根據白光幹涉條紋明暗度以及幹涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度。
  Bruker白光幹涉儀的六個維護保養要點:
  1、儀器應妥善地放在幹燥、清潔的房間內,防止振動,儀器搬動 時,應托住底座,以防導軌變形。
  2、光學零件不用時,應存放在清潔的幹燥盆內,以防止發黴。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液輕拭。
  3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲杆、螺母與軸孔部分,應用T5精密儀表油潤滑。
  4、使用時,各調整部位用力要適當,不要強旋、硬扳。
  5、導軌麵絲杆應防止劃傷、鏽蝕,用畢後,仍保持不失油狀態。
  6、 經過精密調整的儀器部件上的螺絲,都塗有紅漆,不要擅自轉動。
  以上就是Bruker白光幹涉儀維護保養的要點介紹,供大家學習參考!
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